У роботі розглядається інтерес до дослідження електрофізичних властивостей багатошарових плівкових систем та методика отримання тришарових плівок Co/Cu/Fe/П та методика дослідження дифузійних процесів методом вторинної іонної мас спектрометрії. У статті розглянуті експериментальні результати досліджень дифузійних процесів у тришарових плівках Co/Cu/Fe/П.