Андрієнко О. В.Andriienko O. V.2017-09-212017-09-212013Андрієнко, О. В. Дифузійні процеси в асиметричних плівкових системах Co/Cu/Fe [Текст] / О. В. Андрієнко // Фізико-математична освіта : збірник наукових праць / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту, СумДПУ імені А. С. Макаренка, Фізико-математичний факультет ; редкол.: Ф. М. Лиман, С. П. Ращупкін, В. Ю. Сторіжко [та ін.]. – Суми : СумДПУ імені А. С. Макаренка, 2013. – Вип. 1 (5). – С. 95–99.https://repository.sspu.edu.ua/handle/123456789/2354У роботі розглядається інтерес до дослідження електрофізичних властивостей багатошарових плівкових систем та методика отримання тришарових плівок Co/Cu/Fe/П та методика дослідження дифузійних процесів методом вторинної іонної мас спектрометрії. У статті розглянуті експериментальні результати досліджень дифузійних процесів у тришарових плівках Co/Cu/Fe/П.In this paper the interest in the electrical properties of multilayer film systems and methods of obtaining layered films Co / Cu / Fe / P and technique to study diffusion processes by secondary ion mass spectrometry. The article describes the results of experimental studies of diffusion processes in layered films of Co / Cu / Fe / P.ukплівкові системидифузіядифузійні процесиплівкавідпалюванняfilm systemdiffusiondiffusion processesfilmannealingArticle