Коцур О. С.Kotsur O. S.2017-09-222017-09-222014Коцур, О. С. Пошаровий аналіз елементного складу твердих тіл методом вторинної іонної мас-спектрометрії [Текст] / О. С. Коцур // Фізико-математична освіта : збірник наукових праць / Міністерство освіти і науки України, Сумський державний педагогічний університет ім. А. С. Макаренка, Фізико-математичний факультет ; редкол.: Ф. М. Лиман, В. С. Іваній, М. В. Каленик [та ін.]. – Суми : СумДПУ імені А. С. Макаренка, 2014. – Вип. 1 (6). – С. 111–120.https://repository.sspu.edu.ua/handle/123456789/2376У статі розглянуто основні сфери застосування елементного аналізу твердих тіл, що є дуже важливим для розвитку сучасної науки. Більш детально розглянуто пошаровий аналіз методом вторинної іонної мас-спектрометрії. Також зазначено основні переваги та недоліки пошарового аналізу.In article reviews the main scope applying of the elemental analysis of solids, which is very important for the development of modern science. The more detail reviews the layered analysis by secondary ion mass spectrometry. Also outlines the advantages and disadvantages of layered analysis.ukелементний аналізвторинна іонна мас-спектрометріяпошаровий аналізelemental analysissecondary ion mass spectrometrylayered analysisArticle